關于濾光片的硬膜和軟膜

軟鍍膜
軟鍍膜是多層薄膜，由硫化鋅、冷凍劑、有時甚至是銀組成。對于傳統的干涉濾光片，鍍膜組件被層壓在一個垂直的堆棧中，以提供抵御周圍環境的保護，通常是從較大的晶圓上取下?？紤]到所使用的材料和制造工藝，軟鍍膜易碎。鍍膜材料經常被從濾光片的邊緣移除，以避免鍍膜因潮濕而退化，并增加鍍膜的使用期限。
 
軟鍍膜的成本是由低成本的沉積設備、快速循環時間和廉價的基片來保持，但是由于密封和環形組件，操作成本很高。
軟鍍膜如果小批量生產，成本較高，如果產生一定批量的生產，會大大降低成本。
 
硬鍍膜
硬鍍膜薄膜是利用等離子沉積過程制作而成的，與軟鍍膜相比，它具有多個優勢。等離子沉積過程是用計算機嚴格控制的，它甚至可以實現分層，擁有良好的環境適應性和更好的性能。例如，作為波長的一個函數，硬鍍膜的透光率不僅更加一致，而且通常高于軟鍍膜的透光率
硬鍍膜在可見光譜和紫外線中具有超過 90% 的透射率。另一方面，軟鍍膜無法達到 90% 的透射率，并且性能在紫外線附近顯著下降。此外，起始和截止轉換還有一些改進。軟鍍膜有個漸進的過渡，從沒有透射率過渡到*透射率，而硬鍍膜的過渡更陡.